ЮФУ разработает микросистемную технику для Новосибирского завода

Фото: ЮФУ

ЮФУ займется разработкой приборов микросистемной техники для миниатюрных сенсоров. Передовая инженерная школа ЮФУ «Инженерия киберплатформ» получила грант Российского научного фонда в области производства приборов микросистемной техники и миниатюрных электронных модулей. Об этом сообщает центр общественных коммуникаций вуза.

Проект планируют запустить на три года, во время которого учёные разработают технологию изготовления МЭМС ёмкостного типа с инкапсуляцией на уровне пластины. Как только участники проекта выполнят все поставленные цели, эту инновацию внедрит в своё производство Новосибирский завод полупроводниковых приборов Восток.

«Проект представляет собой прикладное исследование, целью которого является разработка технологии инкапсуляции элементов МЭМС в слоях кремниевой пластины, обеспечивающей высокий потенциал коммерциализации разработок и импортозамещение критически важных решений в области производства миниатюрных сенсоров. Микроэлектромеханические системы составляют основу систем сенсорики мобильной, потребительской, автомобильной, промышленной, бортовой аппаратуры гражданского и специального назначения – акселерометры, гироскопы, датчики деформации, вибрации», – поделился участник проекта, руководитель дивизиона «Электроника» ПИШ ЮФУ Алексей Коломийцев.