Учёные ЮФУ нашли новый метод изготовления наноплёнок для современной электроники

Учёные Института нанотехнологий, электроники и приборостроения ЮФУ нашли новый метод изготовления наноплёнок из оксида алюминия для современной электроники, сообщает центр общественных коммуникаций вуза. Новая технология позволит обеспечить более высокие параметры электронных датчиков, а себестоимость ниже в сравнении с аналогами.

Поиск эффективных технологий создания наноплёнок и бездефектных покрытий – одна из ключевых задач в развитии современной электроники и оптики.

Учёные ИНЭП ЮФУ предложили новый метод получения наноразмерных мембран из оксида алюминия, основанный на синтезе плёнки золь-гель методом и её спекании электронным лучом.

Справочно: золь-гель метод – это технология получения твёрдых частиц необходимого материала в плёнкообразующем растворе с последующим формированием структурного каркаса. Удаление раствора при сохранении структуры плёнки и термическом спекании позволяет получать монолитный материал.

«В нашей работе предложен оригинальный способ создания акустического мембранного датчика, диафрагма которого выполнена из монолитного оксида алюминия. Диафрагма из плёнкообразующего раствора оксида алюминия наносилась на рабочий диффузор и спекалась электронным лучом», – рассказал доцент кафедры нанотехнологий и микросистемной техники ИНЭП ЮФУ Сергей Авдеев.

По словам специалистов, в последние годы плёнки оксида алюминия нашли применение в датчиках поверхностных акустических волн. Основой разрабатываемых датчиков послужил сапфир, одна из фазовых модификаций оксида алюминия, – тугоплавкий материал с высокими механическими параметрами и хорошими изоляционными свойства. А электронно-лучевая обработка позволила сформировать пленки с нужными свойствами, создать уникальные поверхности и поверхностные структуры, устранить механические дефекты, а также удешевить производство компонентов и повысить их качество.

Такие датчики можно использовать в агрессивной среде, например, в морской воде.

«Существует метод получения датчиков на сапфировой мембране, однако это устаревшая технология, крайне трудоёмкая и затратная. Наша технология позволяет получать такие же и более тонкие мембраны с меньшими ресурсными и трудовыми затратами», – подчеркнул Сергей Авдеев.

Новый метод, считают учёные, может быть реализован полностью на основе отечественных технологий и производственных мощностей.

Результаты исследования опубликованы в научном издании SPIE Proceedings.